ТЕХНОЛОГИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, МАТЕРИАЛОВ И ПРИБОРОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
- Полунина Алиса Александровна. Экспериментальное определение тонких механизмов поглощения водорода титаном для расширения номенклатуры эксплуатационных характеристик пористых геттеров. 2008
Полунина Алиса Александровна. Экспериментальное определение тонких механизмов поглощения водорода титаном для расширения номенклатуры эксплуатационных характеристик пористых геттеров : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Полунина Алиса Александровна; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электроники и математики].- Москва, 2008.- 140 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/1364
- Матузов Антон Викторович. Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники. 2008
Матузов Антон Викторович. Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Матузов Антон Викторович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2008.- 113 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/281
- Балабанов Владимир Тарасович. Технология создания плоских микромодулей для приборов бесконтактной идентификации. 2008
Балабанов Владимир Тарасович. Технология создания плоских микромодулей для приборов бесконтактной идентификации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Балабанов Владимир Тарасович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 132 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/970
- Корнилов Денис Юрьевич. Разработка технологических принципов создания композиционных материалов на основе наночастиц кобальта в матрице полистирола. 2008
Корнилов Денис Юрьевич. Разработка технологических принципов создания композиционных материалов на основе наночастиц кобальта в матрице полистирола : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Корнилов Денис Юрьевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т].- Ставрополь, 2008.- 111 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/913
- Стратейчук Диана Михайловна. Разработка технологических приемов получения фоточувствительных пленок на основе твердых растворов CdS1-xSex методом трафаретной печати. 2008
Стратейчук Диана Михайловна. Разработка технологических приемов получения фоточувствительных пленок на основе твердых растворов CdS1-xSex методом трафаретной печати : диссертация ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Стратейчук Диана Михайловна; [Место защиты: Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2008.- 196 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-2/54
- Силаев Иван Вадимович. Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского. 2008
Силаев Иван Вадимович. Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Силаев Иван Вадимович; [Место защиты: Моск. ин-т стали и сплавов].- Владикавказ, 2008.- 177 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/1010
- Муратов Дмитрий Геннадьевич. Разработка основ технологии получения углеродного нанокристаллического материала и металлоуглеродных нанокомпозитов на основе полиакрилонитрила и солей металлов : Cu, Fe, Co. 2008
Муратов Дмитрий Геннадьевич. Разработка основ технологии получения углеродного нанокристаллического материала и металлоуглеродных нанокомпозитов на основе полиакрилонитрила и солей металлов : Cu, Fe, Co : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Муратов Дмитрий Геннадьевич; [Место защиты: Моск. ин-т стали и сплавов].- Москва, 2008.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/1043
- Ветров Владимир Алексеевич. Разработка методов проектирования миниатюрных низковакуумных насосов для оборудования электронной техники. 2008
Ветров Владимир Алексеевич. Разработка методов проектирования миниатюрных низковакуумных насосов для оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Ветров Владимир Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электроники и математики].- Москва, 2008.- 134 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/412
- Железнякова Анастасия Вячеславовна. Разработка метода молекулярного наслаивания для синтеза сверхтонких пленок халькогенидов металлов. 2008
Железнякова Анастасия Вячеславовна. Разработка метода молекулярного наслаивания для синтеза сверхтонких пленок халькогенидов металлов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Железнякова Анастасия Вячеславовна; [Место защиты: ГОУВПО "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)"].- Зеленоград, 2008.- 132 с.: ил.
- Ушков Александр Викторович. Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам. 2008
Ушков Александр Викторович. Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Ушков Александр Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2008.- 161 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/417
- Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы. 2008
Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Мьо Хейн Зо; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 169 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/1173
- Бузынин Александр Николаевич. Получение и исследование эпитаксиальных структур "полупроводник-фианит". 2008
Бузынин Александр Николаевич. Получение и исследование эпитаксиальных структур "полупроводник-фианит" : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Бузынин Александр Николаевич; [Место защиты: Ин-т общ. физики им. А.М. Прохорова РАН].- Москва, 2008.- 177 с.: ил. РГБ ОД, 71 09-5/9
- Шаповалов Виктор Иванович. Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование. 2008
Шаповалов Виктор Иванович. Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Шаповалов Виктор Иванович; [Место защиты: ГОУВПО "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ].- Санкт-Петербург, 2008.- 211 с.: ил.
- Савенко Алексей Юрьевич. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком. 2008
Савенко Алексей Юрьевич. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Савенко Алексей Юрьевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2008.- 105 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/785
- Буздуган Алексей Анатольевич. Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС. 2008
Буздуган Алексей Анатольевич. Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Буздуган Алексей Анатольевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 147 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/975
- Трепов Дмитрий Александрович. Исследование импульсных разрядов атмосферного давления и разработка оборудования для создания бактерицидной защиты технологических сред и изделий РЭА. 2008
Трепов Дмитрий Александрович. Исследование импульсных разрядов атмосферного давления и разработка оборудования для создания бактерицидной защиты технологических сред и изделий РЭА : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Трепов Дмитрий Александрович; [Место защиты: Рос. гос. технол. ун-т им. К.Э. Циолковского (МАТИ)].- Москва, 2008.- 157 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/1369
- Данилкин Евгений Викторович. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции. 2008
Данилкин Евгений Викторович. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Данилкин Евгений Викторович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/488
- Митченко Иван Сергеевич. Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния. 2008
Митченко Иван Сергеевич. Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т].- Ставрополь, 2008.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/353
- Лыков Павел Андреевич. Выращивание и исследование легированных монокристаллов ниобата бария-стронция. 2008
Лыков Павел Андреевич. Выращивание и исследование легированных монокристаллов ниобата бария-стронция : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Лыков Павел Андреевич; [Место защиты: Ин-т общ. физики им. А.М. Прохорова РАН].- Москва, 2008.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/965
- Локтев Дмитрий Викторович. Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред. 2007
Локтев Дмитрий Викторович. Разработка конструкции и технологии микроэлектронных приборов точного измерения параметров газовых сред : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Локтев Дмитрий Викторович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. - Москва, 2007. - 112 с. : ил. РГБ ОД, 61:07-5/5546
- Ивлева Людмила Ивановна. Многофункциональные оптические среды на основе оксидных монокристаллов сложного состава, выращиваемых из расплавов. 2007
Ивлева Людмила Ивановна. Многофункциональные оптические среды на основе оксидных монокристаллов сложного состава, выращиваемых из расплавов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Ивлева Людмила Ивановна; [Место защиты: Ин-т общ. физики им. А.М. Прохорова РАН].- Москва, 2007.- 287 с.: ил. РГБ ОД, 71 08-5/79
- Алексейчук Андрей Владимирович. Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии. 2007
Алексейчук Андрей Владимирович. Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Алексейчук Андрей Владимирович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2007.- 126 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/5549
- Аккулов Руслан Иршатович. Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники. 2007
Аккулов Руслан Иршатович. Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Аккулов Руслан Иршатович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2007.- 219 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/4165
- Чеботарев Сергей Николаевич. Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты. 2007
Чеботарев Сергей Николаевич. Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)].- Новочеркасск, 2007.- 146 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/5196
- Гайстер Александр Владимирович. Синтез и исследование лазерных кристаллов Mg2SiO4:Cr с контролируемым валентным состоянием и структурной локализацией ионов хрома. 2007
Гайстер Александр Владимирович. Синтез и исследование лазерных кристаллов Mg2SiO4:Cr с контролируемым валентным состоянием и структурной локализацией ионов хрома : Cr с контролируемым валентным состоянием и структурной локализацией ионов хрома :диссертация ... кандидата химических наук : 05.27.06 Москва, 2007 159 с., Библиогр.: с. 146-159 РГБ ОД, 61:07-2/746
- Падерин Евгений Михайлович. Разработка технологии изготовления и исследование многофункциональных интегрально-оптических элементов (МИОЭ). 2007
Падерин Евгений Михайлович. Разработка технологии изготовления и исследование многофункциональных интегрально-оптических элементов (МИОЭ) : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Москва, 2007 142 с., Библиогр.: с. 135-142 РГБ ОД, 61:07-5/4326
- Козлов Александр Николаевич. Разработка автоматизированного элионного технологического оборудования для производства изделий микрофотоэлектроники. 2007
Козлов Александр Николаевич. Разработка автоматизированного элионного технологического оборудования для производства изделий микрофотоэлектроники : диссертация... кандидата технических наук : 05.27.06 Москва, 2007 132 с. РГБ ОД, 61:07-5/2460
- Коновалов Владимир Вячеславович. Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования. 2007
Коновалов Владимир Вячеславович. Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования : диссертация... кандидата технических наук : 05.27.06 Москва, 2007 136 с. РГБ ОД, 61:07-5/3068
- Залкинд Яков Григорьевич. Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники. 2006
Залкинд Яков Григорьевич. Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 131 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/2109
- Редичев Евгений Николаевич. Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС. 2006
Редичев Евгений Николаевич. Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 121 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/1208
- Опаричев Александр Борисович. Исследование наклонноконденсированных пленочных материалов для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения. 2006
Опаричев Александр Борисович. Исследование наклонноконденсированных пленочных материалов для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 149 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/1820
- Семенин Сергей Николаевич. Исследование и разработка прогрессивной технологии прецизионных гибких полиимидных шлейфов для высокоплотного монтажа. 2006
Семенин Сергей Николаевич. Исследование и разработка прогрессивной технологии прецизионных гибких полиимидных шлейфов для высокоплотного монтажа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 124 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/398
- Письменский Максим Васильевич. Технология получения тонкопленочных структур для оптоэлектроники на основе опытной установки ионно-лучевого осаждения. 2006
Письменский Максим Васильевич. Технология получения тонкопленочных структур для оптоэлектроники на основе опытной установки ионно-лучевого осаждения : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Новочеркасск, 2006 151 с. РГБ ОД, 61:06-5/1255
- Петраков Валерий Сергеевич. Термомеханическая обработка материалов проходной оптики лазеров среднего ИК - диапазона. 2006
Петраков Валерий Сергеевич. Термомеханическая обработка материалов проходной оптики лазеров среднего ИК - диапазона : диссертация... кандидата технических наук : 05.27.06 Москва, 2006 133 с. РГБ ОД, 61:07-5/2388
- Мармалюк Александр Анатольевич. Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники. 2006
Мармалюк Александр Анатольевич. Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация... д-ра техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 431 с. РГБ ОД, 71:07-5/353
- Майоров Вячеслав Ренатович. Разработка модифицированных составов и ресурсосберегающих процессов получения Ni-Zn- и Mg-Zn-ферритов для техники низких и высоких частот. 2006
Майоров Вячеслав Ренатович. Разработка модифицированных составов и ресурсосберегающих процессов получения Ni-Zn- и Mg-Zn-ферритов для техники низких и высоких частот : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 141 с. РГБ ОД, 61:06-5/2139
- Фролова Марина Викторовна. Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различного состава. 2006
Фролова Марина Викторовна. Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различного состава : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 118 с. РГБ ОД, 61:07-5/1256
- Вишникин Евгений Викторович. Принципы формирования и свойства фотоэлектрических преобразователей с ультратонким поглощающим слоем. 2006
Вишникин Евгений Викторович. Принципы формирования и свойства фотоэлектрических преобразователей с ультратонким поглощающим слоем : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 106 с. РГБ ОД, 61:07-5/1330
- Буш Александр Андреевич. Получение кристаллов новых сверхпроводящих, сегнетоэлектрических и родственных фаз оксидных систем, изучение их структуры и свойств. 2006
Буш Александр Андреевич. Получение кристаллов новых сверхпроводящих, сегнетоэлектрических и родственных фаз оксидных систем, изучение их структуры и свойств : диссертация... д-ра техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 383 с. РГБ ОД, 71:07-5/462
- Воронова Анна Евгеньевна. Получение и дилатометрическое исследование халькогенидных полупроводниковых стеклообразных материалов AsxS1-x, AsxSe1-x, GexSe1-x в широком интервале температур. 2006
Воронова Анна Евгеньевна. Получение и дилатометрическое исследование халькогенидных полупроводниковых стеклообразных материалов AsxS1-x, AsxSe1-x, GexSe1-x в широком интервале температур : дис. ... канд. хим. наук : 05.27.06 СПб., 2006 138 с. РГБ ОД, 61:07-2/250
- Сергиенко Андрей Алексеевич. Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления. 2006
Сергиенко Андрей Алексеевич. Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 144 с. РГБ ОД, 61:07-5/1415
- Громов Вячеслав Сергеевич. Основы создания и применения полупроводниковых элементов и микроэлектронных устройств интегральной теплоэлектроники. 2006
Громов Вячеслав Сергеевич. Основы создания и применения полупроводниковых элементов и микроэлектронных устройств интегральной теплоэлектроники : дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 277 с. РГБ ОД, 71:07-5/345
- Кощеев Сергей Владимирович. Оптимизация активных элементов датчиков, использующих эффект гигантского комбинационного рассеяния. 2006
Кощеев Сергей Владимирович. Оптимизация активных элементов датчиков, использующих эффект гигантского комбинационного рассеяния : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 СПб., 2006 126 с. РГБ ОД, 61:07-5/380
- Бритвин Альберт Александрович. Моделирование процессов механической обработки пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов свободным абразивом. 2006
Бритвин Альберт Александрович. Моделирование процессов механической обработки пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов свободным абразивом : диссертация... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 166 с. РГБ ОД, 61:07-5/3061
- Воронина Ирина Сергеевна. Выращивание и исследование монокристаллов молибдатов и вольфраматов кальция, стронция и бария для ВКР-лазеров. 2006
Воронина Ирина Сергеевна. Выращивание и исследование монокристаллов молибдатов и вольфраматов кальция, стронция и бария для ВКР-лазеров : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 149 с. РГБ ОД, 61:07-5/245
- Субботин Кирилл Анатольевич. Выращивание и исследование кристаллов сложных силикатов и германатов, легированных ионами Cr4+, для твердотельных лазеров. 2006
Субботин Кирилл Анатольевич. Выращивание и исследование кристаллов сложных силикатов и германатов, легированных ионами Cr4+, для твердотельных лазеров : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 200 с. РГБ ОД, 61:07-5/1662
- Пасюта Вячеслав Михайлович. Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники. 2005
Пасюта Вячеслав Михайлович. Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Санкт-Петербург, 2005.- 137 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/602
- Миркурбанов Халит Абдулгазизович. Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов. 2005
Миркурбанов Халит Абдулгазизович. Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2005.- 246 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/188
- Севостьянов Александр Сергеевич. Формирование многокомпонентных твердых растворов GaSb
и GaInSb для инжекционных излучателей ИК-диапазона. 2005 Севостьянов Александр Сергеевич. Формирование многокомпонентных твердых растворов GaSb
и GaInSb для инжекционных излучателей ИК-диапазона : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Новочеркасск, 2005 97 с. РГБ ОД, 61:06-5/668 - Белов Алексей Николаевич. Формирование и исследование свойств нитевидных нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия. 2005
Белов Алексей Николаевич. Формирование и исследование свойств нитевидных нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 147 с. РГБ ОД, 61:06-5/178